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吸附法
吸附操作是上百年來作為從廢氣中去除可吸附的VOC組分或回收溶劑的一種典型方法。吸附操作的原理是：在氣相中需要分離的氣體組分(吸附質)可以選擇性地與固體表面(吸附劑)相結合，然后再經過解析又回到氣相中去。通常吸附分為物理吸附(范德華力)和化學吸附兩類；而VOC廢氣的凈化主要采用物理吸附方法。與其他方法相比，吸附法可以吸附濃度很低的(甚至痕量)組分，經解析后可大大增濃，因而可以從廢氣中除去溶劑蒸氣和zui后靜分離來回收溶劑。此外，吸附法有許多優點：不需要水，自然不產生廢水，也不需要輔助燃料，而且能適應廢氣濃度的變化和吸附鹵代烴類及含無機物的揮發組分。
熱氧化法
熱氧化法分為直接氧化和催化氧化，直接氧化是將有機廢氣加熱到760℃，催化氧化是將有機廢氣加熱到催化反應溫度(一般為280-350℃)，從而使有機組分分解為二氧化碳和水，達到環保排放的目的。
低溫等離子體法
等離子體是指處于電離狀態的氣態物質，它是由大量帶電粒子和中性粒子所組成，在電磁力作用下粒子的運動和行為以集體效應為主的體系，并呈電中性。在放電設備中產生的由電子、離子和中性粒子所組成的電離氣體就是等離子體，通過它與物質的氣、固、液三態并列，稱等離子體為物質的第四種形態。通過氣體放電或加熱方法(溫度在2500℃以上)從外界獲得足夠能量，而使氣體分子或原子中軌道所束縛的電子變為自由電子，即形成等離子體；一般講的是在常溫、常壓下采用高壓脈沖電暈放電產生等離子體，所以也稱低溫等離子體法。
吸收法
在吸收操作時，所要分離的氣體組分(吸收質)先與液相(吸收劑)相結合，隨后可再通過再生方法(解吸)又返回到氣相中去。吸收過程與吸附相類似，都是放熱過程，吸收過程可以是物理的，也可以是化學的。
冷凝法
冷凝法是用來分離氣體中可以冷凝的部分，目前主要用于回收廢氣中有價值的溶劑，而不是單獨通過冷凝法來達到廢氣排放的限值，若要通過冷凝法來凈化有機廢氣并達到符合規定的限制，則要求冷卻溫度很低。例如，甲醇需要小于零下八十度，而二氯甲烷則要求小于零下100度，這樣操作的一次性投資和后期運行費用也就太高，極不經濟。因此，在有機廢氣廢氣中，冷凝法主要回收溶劑，并作為廢氣凈化的一項處理技術。
膜分離法
膜分離法也稱滲透法，在有機廢氣凈化中，是借載體空氣和有機廢氣蒸氣不同的滲透能力，或膜對氣體混合物中分子的不同選擇性而將其分開。
生物降解法
有機廢氣的生物降解處理(也稱生物法、生化法或生物催化法)，實際上就是按照廢水生化處理的原理來進行的。由于用生物法降解廢氣中的VOC是在常溫、常壓下進行，其能耗、操作費和投資相對于其他方法來講較低，而且又無二次污染，因此在有機廢氣的各種凈化方法中具有相當的競爭力
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